GJB 1608A-2002 微通道板试验方法
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ID： |
F25FE00846F142B8BA3051BDAA1FCB02 |
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文件大小(MB)： |
1.04 |
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页数： |
26 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-13 |
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GJB 1608A-2002,目 次,1 范围 1,2引用文件..1,3定义 1,4 一般要求. 2,5详细要求. 3,100类几何特性 4,方法101通道中心间距测量.4,方法102通道孔径测量..4,方法103开口面积比测量5,200类物理特性 6,方法201物理缺陷检测..6,300类电极特性 7,方法301电极缺陷检测..7,方法302电极电阻测量..7,方法303电极直径和电极同心度测量. 7,400类电特性.. 10,方法401 电流增益测量.. 10,方法402体电阻测量. 11,方法403暗电流测量. 12,方法404场致发射检测.. 13,方法405发射点检测. 13,方法406 疵点检测 14,方法407固定图案噪声测量.15,方法408大面积均匀性测量.16,方法409噪声因子测量.. 17,方法410电子清刷试验.. 19,500类寿命特性 21,方法501 寿命预测试验..21,600类烘烤特性 23,方法601烘烤试验 23,700类 环境试验 24,方法701高、低温试验..24,方法702机械冲击试验..24,方法703 振动试验 25,I,GJB 1608A-2002,微通道板试验方法,1范围,1.1 主题内容,本标准规定了微通道板的几何特性、物理特性、电极特性、电特性、寿命特性、烘烤特性、环境特性的,测试原理、步骤、测试条件及测试设备、仪器,1.2 适用范围,本标准适用于外形尺寸625m36mm等三种规格的微通道板性能的试验、参数的测量和,缺陷的检测，其它规格的微通道板亦可参照使用,2引用文件,本章无条文,3定义,3.1,通道中心间距 center to center channel spacing,微通道板中相邻通道轴线之间的距离,3.2,开口 面积比 open area ratio,微通道板有效面积内，通道所占的表面面积与有效面积之比,3.3,物理缺陷 physical defects,微通道板上的破边、裂纹、通道遗漏、通道堵塞、复丝分离及板面上的沾污、擦伤、擦痕等疵病,3.4,电极缺陷 electrode defects,微通道板板面上的溅点或溅痕及电极翘皮等疵病,3.5,电极电阻 electrode resistance,在微通道板的板面上电极的最大外接圆直径方向测得的电阻值,3.6,电极同心度 electrode concentricity,电极中心与微通道板中心之间的距离,3.7,电流增益current gain,微通道板单位面积上的输出电流与输入电流之比,3.8,体电阻 plate resistance,微通道板输入端面与输出端面之间的电阻值,1,GJB 1608A-2002,3.9,暗电流 dark current,微通道板在给定工作电压下、无输入电流时的输出电流值,3.10,场致发射 field emission,微通道板工作电压为零伏、无输入电流时，仅由板屏间场强的作用而导致微通道板产生的电子发射,3.11,发射点 emission point,微通道板在规定工作电压、无输入电流时所产生的电子发射,3.12,疵点 blemishes,在合适的荧光屏亮度下,从荧光屏上看见的局部区域亮或暗的点,3.13,固定图案噪声fixed pattern noise,由于各通道的增益不同，所引起的在荧光屏上看见的亮度不一致性,3.14,噪声因子 noise factor,微通道板输入信噪比与输出信噪比之比的平方,3.15,电子清刷 electron clean,给微通道板施加正常工作电压、加大微通道板的输入电流密度以排除通道内的大量气体的一种工,艺,3.16,寿命 lifetime,在正常工作条件下，微通道板增益下降到规定值时,所具有的可使用性能的时间区间,3.17,大面积均匀性 large area uniformity,微通道板区域性增益的不一致性,4 一般要求,4.1 用于测试微通道板的仪器仪表和测试装置的精度不应低于测试条件允许误差的三分之一。当此精,度与本标准任何一个测试方法中规定的精度相矛盾时，则以测试方法规定的精度为准。在测试前应按国,家的有关标准或计量部门的检定规程进行检验,4.2 试验方法分为7类，类别和名称见表1,表1类别和名称,类别名称,100类几何特性,200类物理特性,300类电极特性,400类电特性,500类寿命特性,2,GJB 1608A-2002,表1（续）,类别名称,600类烘烤特性,700类环境试验,5详细要求,详细要求见各试验方法,3,GJB 1608A-2002,100类几何特性,方法101通道中心间距测量,1目的,测量微通道板的通道中心间距,2测量条件,1万级超净环境,环境温度为23匕± 5七，相对湿度应不大于55 %,3测量仪器,测量显微镜、放大倍数应不小于400倍，分划板最小读数应不大于L 5km,4测量步骤,4.1 将微通道板放在显微镜样品台上，打开显微镜光源，调焦致清晰状态,4.2 在一根复丝内,沿通道的最小孔径方向选择一排通道，靠近复丝边界的通道排除,4.3 使不带刻度的分划线相切于这排通道中的某一通道，带刻度的分划线位于这排通道的中心连线上,4.4 数出与此通道相切处位置的n个通道(〃力10)的分划间隔数m,4.5 根据公式(101 - 1)计算九个通道的平均值：,N, = — . (101-1) n,式中：,N,--------- 次测量的平均值；,m——分划间隔数；,a——分划间隔的标定值；,n——通道数,4.6 再选择另外两个区域的复丝，重复步骤4.2.4.5,4.7 ……
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